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MKY-ZG-III型高純氣體凈化器

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MKY-ZG-III型高純氣體凈化器

1m3/h～9m3/h高純氬氣凈化器設(shè)備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮氣、氫氣、氦氣等惰性氣體
1. 氬氣凈化流量1 m3/h～9 m3/h。
2. 工作壓力:0.2～0.6MPa。
（也可做高壓的0.2～15MPa。）。
3. 功率：2KW ～6KW.
4. 設(shè)備外形尺寸(寬×厚×高)：450×450×1020～900×650×1800。
5. 凈化效能：

氣體	純度(%)	H2 (ppm)	O2 (ppm)	CO (ppm)	CO2 (ppm)	CH4 (ppm)	露點 (H2O)
原氬	99.9	<100	<15	<5	<5	<5	－65℃
精氬	99.9999	≤0.2	≤0.3	≤0.2	≤0.2	≤0.2	－80℃

MKY-ZG-III型高純氣體凈化器

氣體	純度(%)	H2 (ppm)	O2 (ppm)	CO (ppm)	CO2 (ppm)	CH4 (ppm)	露點 (H2O)
原氬	99.9	<100	<15	<5	<5	<5	－65℃
精氬	99.9999	≤0.2	≤0.3	≤0.2	≤0.2	≤0.2	－80℃

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